《工业传感器新突破:基于量子效应的高精度温度传感器问世,误差降至0.001℃助力半导体制造精度跃升》
新闻分类:业界动态   作者:admin    发布于:2025/10/27    文字:【
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摘要:
《工业传感器新突破:基于量子效应的高精度温度传感器问世,误差降至0.001℃助力半导体制造精度跃升》正文:近日,科研团队成功研发出基于量子效应的新型高精度温度传感器,将测量误差大幅降至0.001℃。该传感器利用量子隧穿效应与热敏材料特性,通过精密的量子级信号解析,实现对微小温度波动的精准捕捉。在半导体制造领域,这一突破意义重大。晶圆加工、光刻等关键环节对温度稳定性要求极高,此前传统传感器因精度不足,常导致产品良率波动。而新传感器的应用,可使生产环境温度控制精确至千分之一摄氏度,有效减少因温度偏差引发的材料膨胀、光刻对位误差等问题,为高端芯片制造提供更可靠的温度保障,推动半导体产业向更高精度、更高质量的方向迈进。